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沈陽愛科斯科技有限公司
您身邊值得信賴的真空設(shè)備
方案解決商
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愛科斯科技
為用戶提供全方位完善的優(yōu)質(zhì)服務(wù)
IKS Provide users with all-round and perfect high-quality services

專業(yè)提供真空解決方案
多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)生產(chǎn)定制生產(chǎn)商
Professional vacuum solutions
Many years of industry experience in manufacturing customized manufacturers

專業(yè)值得信賴
專注值得托付
Professional and trustworthy
Focus is worth trusting

始終關(guān)注客戶需求,為客戶
企業(yè)和員工的共同發(fā)展而努力
Serving the life of science and
technology civilization.

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產(chǎn)品中心
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IKS-OPT2700電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)


  設(shè)備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。

  愛科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機(jī)為實(shí)現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計(jì),本機(jī)為立式單腔體鍍膜機(jī),是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等,例如,可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等,也可以為特定的簡單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調(diào)試生產(chǎn)。

  設(shè)備特點(diǎn)

  1. 產(chǎn)品設(shè)計(jì),由完美愛科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無縫對接整合,創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!

  2. 真空獲得,重新優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空獲得系統(tǒng),滿足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!

  3. 蒸發(fā)源和離子源,合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù),調(diào)試技術(shù),實(shí)現(xiàn)工藝 進(jìn)程自動(dòng)調(diào)節(jié),電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!

  4.自動(dòng)運(yùn)行控制系統(tǒng),全新開發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡單,操作簡便!

  設(shè)備簡述

  IKS-OPT2700是專為大面積光學(xué)薄膜鍍膜而設(shè)計(jì)的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)。鍍膜機(jī)系統(tǒng)由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子源輔助沉積系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測系統(tǒng)、工作氣體體積流量控制系統(tǒng)、工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、PLC控制的自動(dòng)鍍膜等組成。

  蒸發(fā)材料常用稀有金屬,如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學(xué)材料中常用的材料。

  可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等

  設(shè)備參數(shù)

爐體尺寸

Ф2700×H1670

工件架

φ2650*H420mm

真空度

極限真空:6×10-4Pa(24小時(shí)空載,不加熱)

重量

8000kg,地板承重1000kg/m2

漏率

4×10-3Pa×L/S(氦撿漏)

溫度

室溫-250℃,溫度均勻性±5%

工作真空

6*10-3Pa(自動(dòng)工藝啟動(dòng))

供電

三相電, 380V50Hz,60-100KW

低真空

10 分鐘10Pa

水冷

腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機(jī)流量大于1600l/h

高真空

6 分鐘8×10-3Pa

溫水

蒸發(fā)源1800l/h,35-60

真空測量

全程監(jiān)控,實(shí)時(shí)取點(diǎn)

占地

L6×w5.5×H3.5m

應(yīng)用

眼鏡、反光鏡、手機(jī)背板、防護(hù)罩、光通訊、光學(xué)顯示等

 

  應(yīng)用



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