設備簡述
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爐體尺寸 |
φ1100*H850 |
有效空間 |
φ550*H500 |
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工件最大直徑*數量 |
φ150*8個 |
濺射陰極 |
12ARC |
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工作電壓/頻率 |
380V/50Hz |
實際功率 |
50KW |
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應用技術 |
HCD+ARC |
靶材數量 |
12個 |
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極限壓力 |
5.0*10-4Pa |
漏率 |
<10-3Pa.L/s |
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抽氣時間 |
大氣到4*10-3 <20分鐘 |
弧源數量 |
12個 |
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標準涂層 |
TiN、CrN、AlTiN等 |
其它復合涂層 |
TiSiN、TiAlCrN、TiAlCN等 |
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工件轉架結構 |
下轉架結構 |
真空室結構 |
立式單開門 |
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電源類型 |
弧電源、脈沖偏壓電源、電子槍電源 |
真空系統 |
分子泵、羅茨泵、旋片泵 |
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生產周期 |
3-5小時/爐 |
外圍尺寸 |
L4000*W3200*H2200MM |
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產量/爐 |
銑刀φ10*70 680 刀粒φ18*6 5000 滾刀φ80*80 48 模具500KG |
配套條件 |
水量：10T/H 壓縮空氣：4-6 KG/CM3
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控制方式 |
手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC 自己開發(fā)的鍍膜專用軟件 |
工作氣體 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
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備注 |
真空室尺寸，外圍尺寸，設備外觀等可按客戶產品或及特殊工藝要求訂做 |
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涂層 |
顏色 |
納米硬度（HV0.05） |
摩擦系數 |
涂層厚度 um |
最高使用溫度℃ |
結構 |
主要特點 |
應用 |
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TiN |
金黃色 |
2400 |
0.40 |
1-4 |
500 |
單層膜 |
通用的硬質涂層 |
主要用于車削、銑削、鉆削及齒 輪類 刀具的耐用涂層和成型、 注塑模 的防粘連，提高潤滑性 及耐磨保護 涂層。 |
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CrN |
銀灰色 |
2000 |
0.40 |
1-4 |
700 |
單層膜 |
通用的耐腐蝕膜層，低粘附傾向 |
具有良好的抗粘結性，抗腐性，耐磨性。幾乎適合加工所有材 料，包括高硅鋁、不銹鋼、高 鎳合 金、鈦和復合材料、注 塑模具、零 件、橡膠模具、硅 膠模具、半導 體封裝模具等。 |
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TiCN |
藍灰色 |
3000 |
0.20 |
1-4 |
400 |
梯度復合膜 |
低摩擦系數，高硬度 |
在TiN基礎上，提高了涂層的硬度、 并降低摩擦系數，主要用于高速 鋼刀具、沖壓模具、成型模具。 |
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TiAlN |
紫紅色 |
3500 |
0.40 |
1-4 |
850 |
單層復合膜 |
通用的硬質抗氧化涂層 |
紅硬性良好，表面光潔度高，可用 于高速加工。適合模具鋼、HSS、 硬質合金工具（加工材 料硬度低于 HRC45）、薄壁件 沖壓模具。 |
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AlTiN |
紫黑色 |
3800 |
0.45 |
1-4 |
900 |
多層復合膜 |
超高硬度，抗氧化 |
具有極高的微硬度，熱硬度。適合 于具有高熱應力的工具涂層，并 具備良好的耐熱沖擊性，有 快 速間斷切削應用的優(yōu)先選擇。廣 泛用于硬質合金工具（加工 材料 硬度低于HRC45）、壓鑄模具。 |
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TiAlCrN |
灰色 |
3300 |
0.70 |
1-3 |
800 |
多層復合膜 |
高硬度，抗氧化，抗沖擊 |
中等切削速度下的硬質材料機械加工 |
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TiAlCN |
枚紅色 |
3500 |
0.20 |
1-4 |
800 |
梯度復合膜 |
高硬度，抗氧化 |
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AlCrN |
灰黑色/深灰色 |
3200 |
0.35 |
1-4 |
1100 |
單層膜 |
非常高的抗氧化溫度和紅硬性 |
高速下的硬切削，中到高硬度材 料的銑削、滾銑，由于幾何 體產生高沖擊負載的工具上的應用 |
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